เอกชัย ดีศิริ2552-02-132552-02-132551http://dspace.spu.ac.th/handle/123456789/1343ได้รับทุนอุดหนุนงานวิจัยสำหรับบุคลากรภายใน ปีการศึกษา 2548This research presents a methodology for testing a MEMS accelerometer The tests results showed a good response signals upon the designed. Drop testing of micromachined accelerometers experimental has an impact force from falling. As an object falls from rest, its gravitational potential energy is converted to kinetic energy. Conservation of energy as a tool permits the calculation of the velocity just before it hits the surface. This kind of technique will calculated into the acceleration, or G (acceleration due to gravity). The device was tested and performed well over its design range (the device was tested over a range of a 1 G to 100 G, where 1 G equals the acceleration due to gravity) by drop tower equipment at height from 0.01 meter to 1 meter.MEMS testingMicroaccelerometerการทดสอบและพัฒนาการออกแบบอุปกรณ์วัดความเร่ง สำหรับการออกแบบทางเทคโนโลยี เครื่องกลไฟฟ้าจุลภาคTESTING AND IMPROVING MICRO ACCELEROMETER FOR MICRO ELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DESIGN